2023-09-22
A охладителе устройство за охлаждаща вода, което може да осигури постоянно налягане, постоянна температура и постоянен поток. Става чрез инжектиране на подходящо количество вода в резервоара за вода, охлаждане на водата през хладилната система и използване на помпа за транспортиране на охлаждащата вода до оборудването, което трябва да се охлади. Охлаждащата вода отнема топлината в оборудването, за да се постигне охлаждащ ефект. Охлаждащата вода се добавя към оборудването с междинна честота главно поради високата честота и големия ток. Когато се използва мишена за магнетронно разпръскване, тя ще генерира висока температура и ще деформира пистолета, така че е необходима водна риза за охлаждане на пистолета. Може да се каже, че магнетронното разпрашване е едно от най-забележителните постижения в технологиите за нанасяне на покрития. Предимствата му са добра сила на свързване на филм-субстрат, висока скорост на разпръскване, ниско покачване на температурата на субстрата и добра стабилност на устройството. Чилърът има независима система за циркулация на водата и независима хладилна система, която не се влияе от външната среда. Заедно тези характеристики осигуряват надежден контрол на температурата и висококачествени резултати при нанасяне на покритие за процеса на вакуумно йонно покритие.
Функцията и характеристиките на охладителя в машината за вакуумно йонно покритие включват:
1. Охлаждане на мишената: Мишената в машината за вакуумно йонно покритие се използва за генериране на метални йони, но тя ще генерира много топлина по време на процеса на нанасяне на покритие. Чилърът бързо охлажда мишената чрез циркулационната охладителна система, за да поддържа нормалната работна температура на мишената, да предотврати прегряване на оборудването, което да причини повреда или да намали качеството на покритието и да осигури стабилен изход на йони.
2. Контрол на стабилността: Theохладителможе стабилно да контролира температурата на оборудването, за да гарантира, че оборудването работи стабилно в нормалния работен температурен диапазон. Това помага да се поддържа консистенцията и стабилността на покритието, подобрявайки консистенцията и надеждността на качеството на покритието.
3. Високо прецизна настройка: Работните параметри на чилъра могат да се регулират според специфични изисквания, включително температура на охлаждащата вода, поток и налягане. Това позволява на охладителя да осигури прецизен контрол на температурата в съответствие с различните изисквания за покритие, като гарантира стабилност и високо качество на процеса на нанасяне на покритие.
3. Икономия на енергия: Високоефективният охлаждащ капацитет и прецизната контролна функция на чилъра спомагат за намаляване на консумацията на енергия. Чрез ефективен контрол на температурата на оборудването може да се намали допълнителната загуба на енергия и да се подобри ефективността на използване на енергията.
5. Ефективност на опазване на околната среда: прилагането на чилър във вакуумна машина за йонно покритие може да намали неблагоприятното въздействие върху околната среда. Той използва циркулираща вода за охлаждане, намалява консумацията на вода и произвежда по-нисък шум и вибрации по време на работа.
6. Контрол на околната среда: Приложението на охладителя в машината за вакуумно йонно покритие може също така да контролира температурата и влажността на околната среда, за да осигури добра работна среда. Подходящата околна температура и влажност могат да повишат степента на вакуум, да намалят въздействието на примеси и газове и да подобрят качеството на покритието.
В обобщение, приложението начилърив машините за вакуумно йонно покритие обхваща много аспекти като охлаждащи мишени, охлаждащи субстрати, охлаждащо оборудване и контрол на околната среда, осигуряване на контрол на температурата на оборудването и детайлите по време на процеса на покритие, подобряване на качеството на покритието и производителността.